硅化物涂层是研究很充分的涂层系统之一，这种涂层主要是二硅化钼MoSi2，它氧化形成二氧化硅玻璃，SiO2如上所述，起氧的扩散阻挡层的作用。MoSi2在机械性能上与钼和SiO2二者都是一致的，并且能很快地氧化形成防护性硅化物高温防氧化涂层。在一大气压的氧气或空气中温度在1700°C以下，这种防护性涂层稳定和有效达数小时，在低的氧气压力下温度在1700°C以上，则发生会导致涂层破坏的蒸发过程。
　　接下来为大家介绍硅化物涂层特性的蒸发过程:
　　1.在形成氧化物阻挡层前，硅化物本身在真空或惰性气氛中蒸发；
　　2.防护性SiO2层的单纯蒸发；
　　3.在硅化物-氧化物界面，处硅化物和SiO2之间，反应形成气态的SiO(气)；
　　4.硅化物表面由于氧的供应不足，不能完全形成防护性SiO2(晶)层。
　　每一种蒸发过程都将联系MoSi2具体地加以讨论，然后再推广到其它硅化物高温防氧化涂层系统。